真空炉是指在接近真空状态下通过电热元件加热的工业炉。真空炉冷却系统是真空炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是真空炉工作时常被忽视的问题 当无人管理时可能会导致真空炉的重大毁坏。
真空炉钼加热体长时间使用以后会呈现变硬、收缩、下坠、先倒伏搭接、后熔断(融)等现象。为使真空炉加热丝在高温下存在必要的强度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要设计真空炉加热丝的构造尺寸，如螺旋形电阻丝，要注意加热元件弯径、螺距和螺旋中径等。加热体快要松靠真空炉保温衬，在保温衬搁上95陶瓷件，恰当留有其膨胀空间。搁置位置要适合，一般在100～200mm一个，并能坚固钩住防止电阻丝趴上。此外应避免炉丝互相之间直接接触（短路），一般要垫隔离片。
用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积， 以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH 值控制， 防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。
真空回火炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必须特别注意。应该经常检 查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
